一种RF射频电源过温保护装置
授权
摘要

本实用新型属于RF射频电源技术领域,公开了一种RF射频电源过温保护装置,包括RF射频电源散热块,所述RF射频电源散热块置于RF射频电源上,所述RF射频电源散热块内设置有温度传感器,所述温度传感器通过导线电性连接有温控系统。本方案通过将温度传感器内置于RF射频电源散热块内,通过检测RF射频电源散热块的温度,并通过温控系统的配合,间接监控RF电源的工作状态,从而实现对RF射频电源的过温保护。

基本信息
专利标题 :
一种RF射频电源过温保护装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021752745.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-20
授权号 :
CN212910545U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
吴海荣
申请人 :
苏州普业仪器有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市巴城镇城北西路555号7号楼4楼
代理机构 :
深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈映辉
优先权 :
CN202021752745.0
主分类号 :
H05K7/20
IPC分类号 :
H05K7/20  
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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