一种手套箱内部自动防尘传输系统
授权
摘要
一种手套箱内部自动防尘传输系统,该传输系统包括主支撑板和通过位置调节机构安装在主支撑板上的可调支撑板,在可调支撑板上横向安装有主驱动轴和用于驱动主驱动轴转动的动力机构,在主支撑板上纵向安装有若干与主驱动轴传动连接的从动轴,从动轴的两端分别延伸至主支撑板的两侧、并安装有用于石英基板传输的主传动轮,在主支撑板上还安装有若干与主传动轮配合的辅助支撑轮和导向装置。该传输系统设计合理、传输稳定,能够很好的满足在半导体芯片生产过程中手套箱内部传输时的传输平稳要求,并最大限度地减少了扬尘以及芯片传输过程中产生的微尘。
基本信息
专利标题 :
一种手套箱内部自动防尘传输系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021753452.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-20
授权号 :
CN212527809U
授权日 :
2021-02-12
发明人 :
董招生王云飞王雷周军吴清财李建华王淦龙咸云飞吴佰胜徐洪飞朱军武茂浦吴鹏
申请人 :
江苏杰瑞信息科技有限公司
申请人地址 :
江苏省连云港市经济技术开发区云桥路16号102室
代理机构 :
连云港润知专利代理事务所
代理人 :
刘喜莲
优先权 :
CN202021753452.4
主分类号 :
B25J21/02
IPC分类号 :
B25J21/02 B65G23/30 B65G23/04 B65G39/02 B65G39/09
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J21/00
带操纵装置的容器
B25J21/02
手套式操作箱,即用人手放入装在容器壁上的手套中操纵机械手的容器;所用的手套
法律状态
2021-02-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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