装片银浆残余检测机构
授权
摘要

本实用新型公开了一种装片银浆残余检测机构,涉及半导体生产辅助设备技术领域,解决了有的胶管还残余很多就进行了更换,有的胶管胶量用光还在正常作业,大大的增加了生产成本和芯片成本,同时也增加了后续的返工成本。包括安装板,所述安装板上连接有管安装座以及滑块,所述管安装座内设有银浆管;所述滑块连接有沿银浆管径向滑移的传感器、驱动传感器抵接于银浆管外壁的弹性件,传感器用于在其对准高度上感应银浆管内是否还有银浆。达到了可以自由更换大小胶管,操作简单,运行稳定,在预设的位置可以有效的检测胶量残余,避免胶量残余过多和太少而带来的相关问题,大大节约了生产成本,避免相关生产事故发生的效果。

基本信息
专利标题 :
装片银浆残余检测机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021775388.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-21
授权号 :
CN213023613U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
朱冬成
申请人 :
南通斯康泰智能装备有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市崇川区紫琅路30号狼山工业园2号楼3楼
代理机构 :
南京钟山专利代理有限公司
代理人 :
刘林峰
优先权 :
CN202021775388.X
主分类号 :
G01V8/10
IPC分类号 :
G01V8/10  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01V
地球物理;重力测量;物质或物体的探测;示踪物
G01V8/00
用光学装置勘探或探测
G01V8/10
探测,例如,用光垒
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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