本实用新型提供了一种真空吸盘装置及搬运装置，用于吸附薄膜产品，所述真空吸盘装置包括吸盘组及用于固定所述吸盘组的基座，所述吸盘组包括密封连通的刚性的连接部及弹性的吸附部，所述连接部与吸附部之间形成缓冲腔，所述基座具有抽气通道，所述缓冲腔通过所述连接部上的连接孔与所述抽气通道相连，所述吸附部与薄膜产品接触的一侧设有相互连通的导气槽，所述导气槽底部设有若干通孔。本实用新型通过在吸附部与被吸附物接触的一侧设置导气槽，并于导气槽底部设置若干通孔，使得吸附部与被吸附物吸附时，吸附力分布较均匀，避免真空吸盘装置的吸附力集中于吸附部的中部，使得被吸附物局部受力过大而损坏。