一种用于平板太阳能集热器上吸热体的镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于平板太阳能集热器上吸热体的镀膜装置，包括两个升降装置和磁控溅射装置，所述两个升降装置对称安装在镀膜设备的两端，在磁控溅射装置的底部安装有支撑脚座，在磁控溅射装置的上还安装有传动机构，所述传动机构上安装有载盘，所述磁控溅射装置包括多个真空腔体和多个镀膜腔体，多个真空腔体均匀安装在多个镀膜腔体的两端。本实用新型该装置实现了在平板太阳能集热器吸热体上使用PVD磁控溅射镀膜技术的目的，不仅更加的环保，而且只需一次便可完成吸热体镀膜，节约了镀膜时间，提高了镀膜效率；载盘的设置能够对具有不同位置介质口的吸热板进行稳定输送，大大提高了该装置的实用性，提高了镀膜的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于平板太阳能集热器上吸热体的镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021817931.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-26
授权号 ：
CN212834003U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
于春锋李方军张谦谢汝谦
申请人 ：
山东三齐能源有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市章丘区明水经济开发区圣福路2877号
代理机构 ：
济南诚智商标专利事务所有限公司
代理人 ：
杨先凯
优先权 ：
CN202021817931.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/56 F24S70/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
