一种研磨液回收再利用系统
授权
摘要

本实用新型涉及一种研磨液回收再利用系统,包括废液收集处理装置组合体,废液收集处理装置组合体内部装设有PFA过滤膜组合体,废液收集处理装置组合体顶部的压力测试口处装设有压力传感器,废液收集处理装置组合体底端设有化学品进液口和化学品出液口,化学品进液口处设置的泄漏检测口处装设有泄漏传感器,化学品出液口通过PFA管道分别连接废液收集桶、回收混合桶槽主体,化学品出液口与废液收集桶之间的管道上装设有测量仪器仪表,压力传感器、泄漏传感器、测量仪器仪表分别通过线路连接PLC控制系统;本实用新型操作过程安全可靠,实现全自动操作,可由废液再生新液,减少新液使用量,降低了成本,减少了废水系统处理负荷。

基本信息
专利标题 :
一种研磨液回收再利用系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021821167.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-27
授权号 :
CN213221668U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
蒋陈峰蒋虎胡厚福
申请人 :
冠礼控制科技(上海)有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区自由贸易试验区富特西一路333号长城大楼第一层A1-2部位
代理机构 :
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 :
杨军
优先权 :
CN202021821167.1
主分类号 :
B01D61/00
IPC分类号 :
B01D61/00  B24B57/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D61/00
利用半透膜分离的方法,例如渗析,渗透,超滤;其专用设备,辅助设备或辅助操作
法律状态
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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