研磨液再生回收系统
授权
摘要
本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，具体涉及一种研磨液再生回收系统，包括废液收集桶、循环储存桶、膜过滤装置、渗透桶槽、浊度计以及控制器，所述废液收集与循环储存桶连通，所述循环储存桶与膜过滤装置构成浓缩回路，所述膜过滤装置的渗透端固定连接有循环管道，所述循环管道上设置有渗透桶槽以及反清洗泵，所述浊度计设置在所述循环储存桶内，所述循环储存桶上还设置有输出管道，所述输出管道上还设置有输出泵，所述浊度计、输出泵均与所述控制器电连接。所述研磨液再生回收系统回收工艺简单可靠，可实现研磨液的回收利用，有效降低CMP过程的加工成本，且优化排废，减低环保的负担。
基本信息
专利标题 ：
研磨液再生回收系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021228850.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN213004696U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
郑圣弘宋凯吴思韵
申请人 ：
深圳融科科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝荷大道76号智慧家园B座1801
代理机构 ：
重庆百润洪知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈锋
优先权 ：
CN202021228850.4
主分类号 ：
B24B57/00
IPC分类号 ：
B24B57/00 B01D36/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
