一种蚀刻液回收再生系统

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摘要

本实用新型公开一种蚀刻液回收再生系统，包括蚀刻液再生釜、蚀刻槽和蚀刻液过滤釜；所述蚀刻液再生釜通过第一泵连接所述蚀刻槽，所述蚀刻槽用于作为蚀刻工件进行蚀刻的场所；所述蚀刻液过滤釜包括金属离子反渗透膜，所述金属离子反渗透膜把所述蚀刻液过滤釜分成第一腔室和第二腔室，所述蚀刻槽通过第二泵连接所述蚀刻液过滤釜的第一腔室；所述第二腔室连接到所述蚀刻液再生釜。上述技术方案金属离子反渗透膜将金属离子阻挡，在补酸釜中加入流失的氢氟酸、抑制剂和螯合剂，即可形成全新的蚀刻液体。蚀刻液的回收再生系统在蚀刻工件在蚀刻过程中进行，不会影响到蚀刻工艺的进行。

基本信息

专利标题：

一种蚀刻液回收再生系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021757555.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-21

授权号：

CN213538105U

授权日：

2021-06-25

发明人：

温质康林佳龙乔小平

申请人：

福建华佳彩有限公司

申请人地址：

福建省莆田市涵江区涵中西路1号

代理机构：

福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

林祥翔

优先权：

CN202021757555.8

主分类号：

C23F1/46

IPC分类号：

C23F1/46