铜蚀刻剂的再生和硫酸铜的回收

专利申请权、专利权的转移

摘要

本发明提供使来自铜蚀刻工艺的含氯化铜和盐酸的废酸性溶液再生的方法，这通过使酸与硫酸一起蒸馏的方法而进行。在一个实施方式中，该方法包括(a)提供含至少约10wt％氯化物和至少约5％溶解的铜的废蚀刻剂；(b)向该废蚀刻溶液中加入相对于每摩尔溶解的铜至少约2摩尔的硫酸，从而将氯化铜转化为盐酸和沉淀的硫酸铜；(c)将步骤(b)得到的混合物蒸馏，使至少部分盐酸汽化；(d)使汽化盐酸的至少一部分冷凝；(e)从残余液体中分离出沉淀的硫酸铜的至少一部分，其中所述的残余液体含硫酸；和(f)再次使用残余液体的至少一部分作为步骤(b)的硫酸源。

基本信息

专利标题：

铜蚀刻剂的再生和硫酸铜的回收

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1840739A

申请号：

CN200610058119.X

公开（公告）日：

2006-10-04

申请日：

2006-03-06

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

G·赵H·W·理查森

申请人：

法布罗技术有限公司

申请人地址：

美国新泽西

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

沙捷

优先权：

CN200610058119.X

主分类号：

C23F1/46

IPC分类号：

C23F1/46 C23F1/18

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23F

非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理

C23F1/00

金属材料的化学法蚀刻

C23F1/46

蚀刻组合物的再生

法律状态

2012-10-31 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101457933565
IPC(主分类) : C23F 1/46
专利号 : ZL200610058119X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 法布罗技术有限公司
变更后权利人 : 惠州市东江环保技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国新泽西
变更后权利人 : 516232 广东省惠州市潼桥镇联发大道北面
登记生效日 : 20120920

2010-09-29 ：

授权

2008-04-16 ：

实质审查的生效

2006-10-04 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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