本实用新型涉及一种铜蚀刻液回收硫酸铜蒸馏装置，包括一效蒸馏机构，所述一效蒸馏机构通过管道连接有二效蒸馏机构，所述二效蒸馏机构通过管道连接有三效蒸馏机构，所述三效蒸馏机构通过管道连接有回收机构；所述一效蒸馏机构以生蒸汽作为加热蒸汽，所述二效蒸馏机构和所述三效蒸馏机构均以所述一效蒸馏机构的二次蒸汽作为加热蒸汽，从而可大幅度减少生蒸汽的用量，降低能量消耗；在蒸馏过程中蒸发出铜蚀刻液中的大部分水分，再将残余液体通过送料泵进入反应蒸发器，然后加入浓硫酸，加热，置换出氯化氢气体后，得到硫酸铜晶体，在反应蒸发器中单独蒸发，避免了加硫酸直接三效蒸发器蒸发形成硫酸铜晶体堵塞管道，有利于整个蒸发装置的稳定运行。