本实用新型的一种回收单晶硅生产中氩气尾气的装置。通过粉尘过滤器将回收的混合氩气中的粉尘进行去除后进行压缩并通过冷干机冷却除水，冷却除水后的混合氩气输送到回热器中并计算混合氩气中的甲烷、一氧化碳等氧化性杂质含量和氧气含量，计算完成后补充氧气，提高混合氩气的温度并通过催化反应器一、催化反应器二去除混合氩气中的杂质气体后得到粗滤氩气，粗滤氩气依次通过冷却器和常温吸附器得到精滤氩气，精滤氩气通过换热器降温后输送到精馏塔进行分馏得到纯液氩和精馏废气，完成对氩气的回收。在不引入氢气作为中间反应气体的情况下，提升了氩气回收的效率、简化了氩气回收的流程、降低了氩气回收的成本。