一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置
授权
摘要
本实用新型为了解输送管路温度高和MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的问题,提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置,在管路和管路支路上设置手动调节阀,当气动调节阀出现故障的时候可以使用手动调节阀进行手动调节,在蒸发器的蒸发器管路上设置绝热盒,起到对外的保护作用的同时还起到了保温作用,防止液态源蒸气在输送过程中的冷凝。
基本信息
专利标题 :
一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021840309.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-28
授权号 :
CN212960901U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
孙飞
申请人 :
苏州尚勤光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区唯新路91号2号楼236室
代理机构 :
江苏昆成律师事务所
代理人 :
刘尚轲
优先权 :
CN202021840309.9
主分类号 :
F17D1/00
IPC分类号 :
F17D1/00 F17D3/01
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统;管路
F17D
管道系统;管路
F17D1/00
管道系统
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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