一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的控制装置
授权
摘要
本实用新型本实用新型为了解决液态源汽化系统系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑的问题，提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的控制装置，工作过程中，液态源通过液态质量流量控制器定量送入蒸发器，同时，载气通过第一气体质量流量控制器定量送入蒸发器，蒸发器通过控制温度完成混合物的完全气化并通入工艺室，蒸发管道上设有第二气体质量流量控制器，出气即为液态源的混合蒸汽，流量精准控制，工艺参数易于控制。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的控制装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021840286.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-28
授权号 ：
CN213065556U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
孙飞
申请人 ：
苏州尚勤光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯新路91号2号楼236室
代理机构 ：
江苏昆成律师事务所
代理人 ：
刘尚轲
优先权 ：
CN202021840286.1
主分类号 ：
F17D1/00
IPC分类号 ：
F17D1/00 F17D3/01
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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