一种石英玻璃加热清洗槽
授权
摘要
本实用新型涉及半导体硅片加工技术领域，且公开了一种石英玻璃加热清洗槽，包括清洗槽。该石英玻璃加热清洗槽，通过设置喷头，在进行酸洗的过程中，先将硅片放置于载料斗内，电动滑轨驱动滑块向下移动，通过冲洗箱和导水箱，直至载料斗浸入清洗槽内的酸液内进行清洗，当清洗结束时，电动滑轨驱动载料斗上移，直至挡块嵌入冲洗箱的顶壁内，同时电动推杆推动两个导流挡板拼接，此时，将两个喷头外接水源从而对载料斗以及其内部的硅片进行水洗，而混合有酸液的水通过导水槽进入连通槽，最终由出水管排出而进行集中处理，整个过程都在相对密闭的空间内进行且水洗不影响清洗槽内酸液的PH值，达到了无接触水洗的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种石英玻璃加热清洗槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021841605.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-28
授权号 ：
CN213495298U
授权日 ：
2021-06-22
发明人 ：
李爱忠
申请人 ：
东海县润太石英科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省连云港市东海县白塔埠镇工业集中区市县西路28号
代理机构 ：
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘刚
优先权 ：
CN202021841605.0
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2021-06-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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