一种石墨舟清洗预处理装置
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摘要
本发明提供一种石墨舟清洗预处理装置，其特征在于，包括外槽、内槽和清洁单元，所述内槽固定的设置在所述外槽内，所述清洁单元包括超声波震盒、鼓泡管、循环管和匀流板，所述超声波震盒设置在外槽底部，位于内槽与外槽的中间；所述匀流板设置于所述内槽的底部，所述鼓泡管设置于所述匀流板下方，所述循环管的一端贯穿所述超声波震盒插入所述内槽底部，且位于所述鼓泡管下方，所述循环管的另一端与所述外槽相连通，使所述外槽内的清洗液体与所述内槽形成连通。本装置通过在石墨舟清洗前，增加超声处理措施，将石墨舟表面附着的氮化硅先去除掉一部分，从而减少石墨舟清洗过程中氢氟酸的用量和排放，从而达到降低产业氢氟酸消耗和排放的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨舟清洗预处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021844241.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-29
授权号 ：
CN212469080U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
邢显邦李海波肖文明杨灼坚
申请人 ：
江苏润阳悦达光伏科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021844241.1
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/10 B08B3/08 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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