本申请提供一种检测装置，包括光源装置，其用于向待测区及其外围区域发射检测光束，检测光束沿垂直于待测物的方向入射至待测区及其外围区域，检测光束穿过外围区域形成复检光束；反射元件，其具有反射面，反射面平行于待测物，反射面用于使至少部分复检光束反射至外围区域，复检光束穿过外围区域形成第一信号光；以及探测装置，其用于接收信号光，信号光包括沿垂直于待测物的方向自外围区域出射的第一信号光；通过以上设置，可以使得光源装置出射的检测光束可以经待测物反射、折射或散射后形成信号光，被探测装置所收集，形成清晰的轮廓图，从而提高检测精度。