本实用新型公开了一种微型微透镜阵列匀光结构、TOF镜头及设备，包括基底层，以及形成于所述基底层表面的匀光层，所述匀光层背离所述基底层的表面形成有透镜阵列组，若干个微透镜错位排布形成所述透镜阵列组，所述透镜阵列组在所述匀光层的表面形成连续的面，所述若干个微透镜多组相邻排列，相邻两组形成一个间隔组，相邻两组中的一组的微透镜的曲率半径按照从中间向两端逐渐变大的规律排布，相邻两组中的另一组的微透镜的曲率半径按照从中间向两端逐渐变小的规律排布。本实用新型所述的匀光结构由不同口径及形状的微透镜组成，破坏微透镜阵列的周期性，使激光阵列通过该匀光结构匀光后消除干涉现象，同时降低纳米压印的加工难度。