本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，特别涉及一种单晶硅片抛光液回收过滤装置，包括机体，所述机体中设有离心滤筒，所述离心滤筒顶部固定连接有驱动装置，所述离心滤筒底部中心穿设有排渣管，所述排渣管的下端穿出所述机体连接有进水管，所述机体的上部穿设有出液管，所述离心滤筒与所述机体内壁之间设有过滤装置。与现有技术相比，本实用新型提供的一种单晶硅片抛光液回收过滤装置，结构设置合理，将抛光液经过双重过滤后回收利用，过滤比较彻底，抛光液依次通过离心滤筒进行初步过滤，及通过环形筛板进行二次过滤，极大提高过滤效率，同时扰动机体内部水流，避免杂物大量附着于离心滤筒表面，具有广阔市场价值。