一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构
授权
摘要
本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构，其包括真空罩、液冷载台组件和弹性密封件，液冷载台组件包括液冷载台、出液空心支撑管和旋转驱动件，弹性密封件为弹性环状体，液冷载台内部设有液冷空腔，液冷空腔转动安装有旋转导液盘，旋转驱动件的输出端与旋转导液盘连接，液冷空腔导入冷却液，旋转导液盘用于搅动液冷空腔内部的冷却液。本实用新型能够有效、快速地对液冷载台实现降温，使得液冷载台能够长期处于高温环境下工作，避免液冷载台烧损，还能够加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性，刀具表面的薄膜沉积效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021871521.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN213388886U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
王俊锋袁明谢文荣秦兴耀王锋
申请人 ：
广东鼎泰机器人科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号
代理机构 ：
东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人 ：
袁敏怡
优先权 ：
CN202021871521.1
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/27 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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