一种带有弹性密封件的涂层装置
授权
摘要
本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种带有弹性密封件的涂层装置，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩的底壁，液冷载台组件包括液冷载台和空心支撑管，空心支撑管滑动设置于真空罩底座冷盘，空心支撑管的上端突伸至真空罩内部并与液冷载台固定连接，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件套设于空心支撑管外侧，弹性密封件的一端与空心支撑管远离液冷载台的一端密封连接，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装。
基本信息
专利标题 ：
一种带有弹性密封件的涂层装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021871559.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN213388881U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
王俊锋袁明谢文荣秦兴耀王锋
申请人 ：
广东鼎泰机器人科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号
代理机构 ：
东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人 ：
袁敏怡
优先权 ：
CN202021871559.9
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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