一种用于真空装置的液冷电极棒
授权
摘要
本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种用于真空装置的液冷电极棒，其包括真空装置、电极棒本体、发热件固定部件和内芯管件，电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于电极棒本体的端部。流动的冷却液对电极棒本体深入冷却，能够加速冷却，冷却效果好，有效避免电极棒烧坏，延长电极棒的使用寿命，发热件固定部件安装于电极棒本体的上端，发热件通过发热件固定部件与电极棒本体连接，使得电极棒本体与发热件合理连接，实现稳定供电和均匀发热。
基本信息
专利标题 ：
一种用于真空装置的液冷电极棒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021871939.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN213388883U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
王俊锋袁明谢文荣秦兴耀王锋
申请人 ：
广东鼎泰机器人科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号
代理机构 ：
东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人 ：
袁敏怡
优先权 ：
CN202021871939.2
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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