一种用于磨片机磨液的节流装置

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摘要

一种用于磨片机磨液的节流装置，包括蠕动泵、出液管、缓存槽、进液管、高限位传感器、低限位传感器、电子阀和手动阀，所述出液管设置在所述蠕动泵内，出液管的一端连接磨片机，另一端与所述缓存槽连通，缓存槽内腔的底部平铺有防堵塞斜面，缓存槽的外壁上安装所述高限位传感器和所述低限位传感器，高限位传感器设置在低限位传感器上方，所述电子阀和所述手动阀设置在进液管上，高限位传感器和低限位传感器为电子阀提供工作信号。本实用新型通过磨液温流装置可有效节省生产中磨液消耗及稳定磨片工艺、提升研磨硅片质量。

基本信息

专利标题：

一种用于磨片机磨液的节流装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021914738.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-04

授权号：

CN213673621U

授权日：

2021-07-13

发明人：

韩云霄杨波李战国

申请人：

麦斯克电子材料股份有限公司

申请人地址：

河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

卫煜睿

优先权：

CN202021914738.6

主分类号：

B24B57/02

IPC分类号：

B24B57/02 B24B7/22