一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置，其涉及MOVCD技术领域。其技术方案要点包括喷淋板以及与所述喷淋板底壁接触的冷却板，所述喷淋板和冷却板内均设置有冷却管道。本实用新型在冷却板的基础上增加了基于喷淋板自身的冷却结构，两者结合从而能够提高控温精度，减小喷淋板温度波动对薄膜的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021947801.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN212983046U
授权日 ：
2021-04-16
发明人 ：
田卡熊旭明蔡渊袁文
申请人 ：
东部超导科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江经济技术开发区庞金路1801号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
范晴
优先权 ：
CN202021947801.6
主分类号 ：
C23C16/52
IPC分类号 ：
C23C16/52 C23C16/455 C23C16/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/52
镀覆工艺的控制或调整
法律状态
2021-04-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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