本实用新型公开了一种晶圆检测用输送装置，包括滑板和晶圆卡板，所述滑板的下表面两侧均固定有轮槽，且轮槽的内侧均安置有滚轮，所述滑板的上表面中部设置有放置槽，且放置槽的两侧槽壁均开设有安装槽，所述放置槽的内侧安装有转轴，所述转轴的外壁固定有套筒，所述晶圆卡板固定在套筒的外壁，所述滑板的后侧焊接有托板。该晶圆检测用输送装置，转轴的轴端与电机的输出端相连接，能够随电机启动而旋转，进而能够带动其上的套筒和晶圆卡板旋转，晶圆卡板既可以直立，以盛纳晶圆，又可以转至水平状态，实现对晶圆的检测，该种方式，无需人手频繁上下晶圆，降低了人工操作对晶圆的损伤影响，且完全可以满足运输与检测同步进行的要求。