本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体的说是一种利用氮气烘干刀具的排列式机构，包括耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块，所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块之间左右两侧均通过连接管固定连接，所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块相对的一侧面分别开设有上安装槽和下安装槽。本实用新型将硅片从上吹气管和下吹气管之间穿过，通过恒温氮气入口连接恒温氮气源，向连接管、上吹气管和下吹气管输送恒温氮气，通过上对吹孔和下对吹孔向硅片上下两端面喷洒恒温氮气，将硅片吹干，相较于原始通过甩干烘干的做法，本装置在硅片上下表面增加恒温氮气排列吹干，能够降低硅片的加工成本，提高产能，增强收益。