PVD真空镀膜工装治具
授权
摘要
本实用新型公开了PVD真空镀膜工装治具，包括壳体、第一转盘和第二转盘，所述壳体内腔底部的右侧固定连接有电机，所述电机转轴的顶部固定连接有主动齿轮，所述壳体的顶部贯穿设置有短杆，所述短杆的底部贯穿至壳体的内腔并固定连接有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合，所述第一转盘的底部与短杆的顶部固定连接，所述第一转盘顶部左侧的前侧和后侧与第二转盘底部左侧的前侧和后侧均通过转轴活动连接有支撑杆。本实用新型解决了现有的PVD真空镀膜工装治具结构都较为单一，不能进行调节，不同的工件往往需要适配不同的工装治具，操作人员需要花费大量的时间去更换治具，费时费力，影响镀膜效率的问题。
基本信息
专利标题 ：
PVD真空镀膜工装治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021986317.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN213061012U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
张红星张小健樊天柱
申请人 ：
昆山市正行电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市千灯镇宏洋路12号4号房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021986317.4
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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