晶圆自动排序机工作台防护装置
授权
摘要
本申请涉及一种晶圆自动排序机工作台防护装置，包括工作台、机柜以及机箱，所述工作台内设有空腔，所述工作台的上表面边缘处竖直开设有安装槽，所述工作台上设有防护罩，所述防护罩竖直滑动设置在安装槽内，所述防护罩朝向机箱的一侧与所述机箱贴合，所述防护罩的顶端设有顶盖，所述顶盖可拆卸连接在防护罩上，所述工作台上设有用于带动防护罩竖直方向移动的升降组件。本申请具有减少晶圆粉尘污染，提高晶圆加工质量的效果。
基本信息
专利标题 ：
晶圆自动排序机工作台防护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021992834.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-12
授权号 ：
CN213415524U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
戚孝峰周鹏程
申请人 ：
争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
苏利
优先权 ：
CN202021992834.2
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07 B25H3/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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