一种增加真空度的装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种增加真空度的装置，包括装置系统主体，所述装置系统主体内设有真空泵系统盘面，所述真空泵系统盘面上安装有原气动阀组件，所述原气动阀组件包括原气动阀件AV、原气动阀件CV和原气动阀件VG，所述原气动阀组件的一侧安装有新增气动阀组件，所述新增气动阀组件包括新增气动阀件AV、新增气动阀件AV和新增气动阀件AV，在原本盘面上只有普通的真空发生器装置以及原气动阀组件的部分，换钢瓶前会进行盘面抽真空吹扫，这时候只会有真空发生器动作，达到盘面抽真空的目的，但实际情况并不能满足制程工艺的真空度，故而增加一套真空泵系统，有效的解决了原先真空度不足，对盘面管路吹扫的洁净度到不到制程要求的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种增加真空度的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021997737.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-14
授权号 ：
CN214147429U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
张猛
申请人 ：
上海吉威电子系统工程有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区锦绣东路2777弄36号701-706室
代理机构 ：
上海唯源专利代理有限公司
代理人 ：
曾耀先
优先权 ：
CN202021997737.2
主分类号 ：
F17D1/065
IPC分类号 ：
F17D1/065 F17D3/01 F04D19/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/02
用于气体或蒸气的
F17D1/065
产生气体或蒸气推进的装置
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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