一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置，属于光刻机技术领域，包括镜头筒、调节机构、工业相机和后台终端，所述镜头筒的内部顶端安装投影镜头，内部中端安装可调镜片，所述可调镜片由所述调节机构控制升降，所述工业相机安装在镜头筒的下方且所述工业相机与所述镜头筒的镜头下端面固定，所述工业相机、所述可调镜片和所述投影镜头处于同一轴线上，所述工业相机与所述后台终端之间信号连接，所述后台终端安装有驱动所述调节机构的电路模块。通过工业相机采集投影镜头的成像效果和倍率上传给后台终端，后台终端再利用调节机构调节可调镜片改变成像效果和倍率满足使用需求，从而实现自动校准的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022003399.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-14
授权号 ：
CN212675256U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
李文静顾科占李全统
申请人 ：
安徽国芯智能装备有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼
代理机构 ：
合肥律众知识产权代理有限公司
代理人 ：
秦超
优先权 ：
CN202022003399.2
主分类号 ：
G02B7/28
IPC分类号 ：
G02B7/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/28
聚焦信号的自动发生系统
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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