一种调节成像光路倍率及夹角的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，属于曝光技术领域。本实用新型的调节成像光路倍率及夹角的装置，包括DMD承载台、夹角调节装置和底座，其中DMD承载台用于承载DMD组件，包括至少三个倍率调节装置；通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，达到升降DMD承载台以调节DMD与到PCB板的距离，此过程无需对设备进行拆卸，方便操作，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；在需要进行夹角调节时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，从而带动DMD承载台位置的改变来达到夹角调节的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种调节成像光路倍率及夹角的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922277839.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-17
授权号 ：
CN211427045U
授权日 ：
2020-09-04
发明人 ：
肖燕青何伟程珂陈海巍
申请人 ：
江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市恒山路西侧
代理机构 ：
哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭素琴
优先权 ：
CN201922277839.0
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-09-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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