本实用新型公开了一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具，包括抽真空管、连接杆、螺纹罩、吸盘主体。本实用新型设置了螺纹罩，在将吸盘主体与连接杆连接的时候，顺时针转动吸盘主体，将连接杆底端的螺纹管头拧入到吸盘主体的连接端头内部，在此过程中，同时逆时针方向转动螺纹罩，螺纹罩拧在吸盘主体的连接端头外表面，因此在吸盘主体吸附物体的过程中，吸盘主体不会出现自转现象，从而可以使吸盘主体与连接杆连接在一起，不会出现连接松动的现象，本实用新型设置了缓冲管，缓冲管可以对外界设备传递到该夹具上的力进行一个有效的缓冲，避免作用力直接作用到该夹具上，用力过猛使夹具底端的吸盘主体与吸附的物体分离，造成吸附失败的情况发生。