本发明通常涉及一种用于夹持一物体表面的真空吸盘夹具，所述真空吸盘夹具包括：一刚性基座元件及一环形真空密封元件。所述刚性元件具有一第一侧面及与所述第一侧面相对的一第二侧面，所述第二侧面具有一中心区域及围绕所述中心区域的一周围。所述环形真空密封元件至少间接地附接至所述基座元件的所述第二侧面，并且在远离所述基座元件的所述第一侧面的一方向上从所述基座元件突出。所述真空密封元件包括：一接触表面，配置成与所述物体表面至少部分地接触，以及横向朝向所述接触表面的一环绕表面，配置用以确定与所述基座元件的所述第二侧面相邻的一腔室。所述真空密封元件至少在所述接触表面处是可弹性变形的，以使所述接触表面在被压向所述物体表面时能够顺应所述物体表面。所述真空吸盘夹具还包括：一抽气装置，安装到所述基座元件的所述第一侧面，从而通过所述基座元件与所述腔室流体连通，并且配置用以从所述腔室连续地抽出空气，以使所述接触表面在受压时朝向所述物体表面，从而夹持所述物体表面。