压力缸、加压装置及热压烧结设备

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摘要

本实用新型提出一种压力缸、应用该压力缸的加压装置和应用该加压装置的热压烧结设备。所述压力缸包括：缸体和多个活塞杆，所述缸体中设有多个压力腔，相邻的两个压力腔之间通过第一通孔连通，所述缸体还设有连通一所述压力腔的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔呈同轴设置，所述缸体开设有多个进气孔和多个出气孔，一所述进气孔和一所述出气孔与一所述压力腔连通；每一所述活塞杆可活动地设于一所述压力腔内，并穿过一所述第一通孔伸入另一所述压力腔，以使多个活塞杆依次抵接，其中一活塞杆穿过所述第二通孔伸出所述缸体。本实用新型的技术方案，得以提高热压烧结设备中的压力调节范围，满足不同类型的半导体器件的加压需求。

基本信息

专利标题：

压力缸、加压装置及热压烧结设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022025429.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-15

授权号：

CN212643221U

授权日：

2021-03-02

发明人：

岑玮靳清吴昊胡博

申请人：

深圳市先进连接科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区沙井街道后亭社区后亭茅洲山工业园工业大厦全至科技创新园科创大厦20层F

代理机构：

深圳市恒程创新知识产权代理有限公司

代理人：

苗广冬

优先权：

CN202022025429.X

主分类号：

F15B15/14

IPC分类号：

F15B15/14 F15B15/20 F15B3/00 H01L21/67