一种氮化硅热压烧结设备
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种氮化硅热压烧结设备,涉及氮化硅热压烧结设备技术领域,本发明包括工作台,工作台上端设置有壳体,壳体内设置加热装置,壳体的下端开设有第一通孔,工作台贯穿开设有第二通孔,工作台的下方设置有能经第二通孔和第一通孔进入到壳体内的承压板,通孔内设置有密封组件,壳体内设置有能沿竖直方向移动的竖向压板,壳体内还设置有能沿横向移动的横向压板,竖向压板的下端设置有能沿竖向压板下端面移动的固定板,横向压板的上端设置有导向组件,导向组件能带动固定板同步移动,固定板与横向压板之间还设置有间隙补偿组件。能够对氮化硅施加单轴向力的同时,能够对氮化硅的侧壁施加压力,使氮化硅侧壁受到的压力可调。

基本信息
专利标题 :
一种氮化硅热压烧结设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114413629A
申请号 :
CN202111657931.5
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈全
申请人 :
苏州昂炻高新材料科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴江区江陵街道长安路2358号吴江科技创业园综合楼
代理机构 :
北京酷爱智慧知识产权代理有限公司
代理人 :
刘娟
优先权 :
CN202111657931.5
主分类号 :
F27B17/00
IPC分类号 :
F27B17/00  F27D99/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F27B 17/00
申请日 : 20211230
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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