一种氮化硅烧结炉

授权

摘要

本实用新型公开一种氮化硅烧结炉。本实用新型提供一种氮化硅烧结炉，包括：其特征在于，包括：底座、驱动装置烧结室、微波加热装置以及可拆卸式烧结罐。通过设置底座、驱动装置、烧结室、微波加热装置以及可拆卸式烧结罐，可拆卸式烧结罐可以插在驱动装置的转轴上，使得转轴上的搅拌叶片伸入罐体内部，通过驱动装置带动转轴转动从而对罐体内的原料进行搅拌，烧结室底部设置有微波加热装置，可以利用微波进行氮化硅的烧结。罐体可以灵活从烧结室中取出，便于装料和卸料以及维护，微波加热装置加热温度场均匀，热应力小，适宜于快速烧结。

基本信息

专利标题：

一种氮化硅烧结炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022336820.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-20

授权号：

CN213396478U

授权日：

2021-06-08

发明人：

柏小龙

申请人：

埃克诺新材料（大连）有限公司

申请人地址：

辽宁省大连市花园口经济区梧桐路牡丹街85-1号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202022336820.1

主分类号：

F27B5/05

IPC分类号：

F27B5/05 F27B5/06 F27B5/14 F27D1/18 F27D11/00 H05B6/64