本实用新型公开了一种半导体设备用的控温加热装置，包括加热器主体、出水口、加热管和进水口，所述加热器主体的一侧固定有出水口，所述过滤板的顶端延伸至预留孔的内部且与拉环的底端固定连接，所述加热器主体底端的两侧均安装有拆装结构。本实用新型通过设置有过滤结构便于对水管内部的水进行过滤，当水通过进水口流入到加热器主体的内部时，过滤板会将水中的杂质进行过滤，同时也可以对水管中掉落的水垢进行过滤，当过滤板长时间使用时会影响过滤效果，此时向上拉动拉环使拉环带动过滤板从进水口的内部抽出，可以对抽出的过滤板进行清理，便于对水管内部的水进行过滤，且便于对过滤板进行拆装清理，功能性较强。