光刻缺陷检测手动外观检验设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻缺陷检测手动外观检验设备，包括：支撑部用于支撑承片台；承片台用于承载被检测晶圆；驱动模组设置在承片台和支撑部之间，其用于驱动承片台在预设角度内翻转；发光部固定在承片台上方，其用于发射预设波长的白色光线照射被检测晶圆；控制台设置在承片台旁侧，其用于发出信号触发驱动模组驱动承片台翻转；电源用于为发光部和驱动模组供电。本实用新型能在光刻缺陷检中提高缺陷检测发现率，能避免漏检。
基本信息
专利标题 ：
光刻缺陷检测手动外观检验设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022070037.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-21
授权号 ：
CN213459648U
授权日 ：
2021-06-15
发明人 ：
周世均王晓龙
申请人 ：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
焦天雷
优先权 ：
CN202022070037.5
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 G03F7/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2021-06-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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