单晶炉循环水路结构

授权

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉循环水路结构，包括设置在单晶炉外筒外侧壁上的进水部件及出水部件，进水部件其进水通道与下法兰上设置的法兰散热槽相连通，下法兰上的法兰散热槽与螺旋形的循环水路下端进水口相连通，循环水路上端出水口与单晶炉其上法兰上设置的法兰散热槽相连通，上法兰上的法兰散热槽与出水部件的出水通道相连通。本实用新型改进单晶炉其循环水路结构，将冷却循环水路延伸设计到上法兰及下法兰，增强单晶炉的散热效果，能够保证上法兰上的密封圈处于一个不高的工作温度，延长了密封圈的使用寿命及其密封效果。

基本信息

专利标题：

单晶炉循环水路结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022074021.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-21

授权号：

CN213835620U

授权日：

2021-07-30

发明人：

瞿建强

申请人：

江阴市光科光电精密设备有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市江阴市高新园区长山路

代理机构：

无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

王威钦

优先权：

CN202022074021.1

主分类号：

C30B11/00

IPC分类号：

C30B11/00 C30B29/06