一种基于滤光器的光谱分析模组
授权
摘要
本实用新型公开一种基于滤光器的光谱分析模组,滤光器阵列中的各个滤光器单元设有衬底,衬底上面有多层介质薄膜结构和金属图案层,多层介质薄膜结构设有至少2层介质薄膜层,其中至少有一层相较其它层具有更高的折射率;金属图案层是呈一维或二维周期性排布的块状金属薄膜结构单元构成的阵列结构,多层介质薄膜结构中与金属图案层最相邻的介质薄膜层在多层介质薄膜结构中具有较低的折射率;采用上述方案后本实用新型制备工艺简单、滤光器具有带宽很窄的透射通带,有利于提高光谱分析模组的光谱分辨率,探测器单位像素尺寸可远小于对应滤光器阵列中的滤光器单元的尺寸。
基本信息
专利标题 :
一种基于滤光器的光谱分析模组
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022081158.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-21
授权号 :
CN215262065U
授权日 :
2021-12-21
发明人 :
孙志军
申请人 :
厦门脉驰科技有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市火炬高新区创业大厦南407C
代理机构 :
厦门市天富勤知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
顾克帅
优先权 :
CN202022081158.X
主分类号 :
G01J3/28
IPC分类号 :
G01J3/28 G01J3/02 G02B5/20 G02B27/09
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J3/00
光谱测定法;分光光度测定法;单色器;测定颜色
G01J3/28
光谱测试
法律状态
2021-12-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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