一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的电极结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的电极结构，包括毛细管，所述毛细管位于放电室内，所述毛细管呈圆柱形，在毛细管两端均设有电极，毛细管两端的电极与电源相连接形成回路，所述毛细管两端的电极包括高压电极和接地电极，高压电极的长度大于接地电极的长度，高压电极和接地电极通电产生等离子体，在毛细管内充有工作气体，本实用新型中毛细管内产生的三束等离子体经过耦合，可以极大地提高等离子体的发光功率，满足极紫外光刻生产的需求；三束等离子体耦合光源单次发光的功率较高，这大大地降低了放电的重复频率，光刻生产的废品率也得到了很好的控制。
基本信息
专利标题 ：
一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的电极结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022107593.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN212302211U
授权日 ：
2021-01-05
发明人 ：
张兴强
申请人 ：
湖北汽车工业学院
申请人地址 ：
湖北省十堰市红卫教育口车城西路167号
代理机构 ：
北京金智普华知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨采良
优先权 ：
CN202022107593.5
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H05H1/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-01-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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