柱状射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置
公开
摘要
本发明涉及一种柱状射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，包括依次连接的供气系统、扩压器和真空腔体，其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒，且壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接，壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件，且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接，真空腔体外侧设有射频耦合螺旋线圈，真空腔体上端两侧分别设有抽真空系统和气压采集系统，真空腔体下部一侧设有射频供电系统，且射频耦合螺旋线圈通过射频供电系统供电。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点，且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。
基本信息
专利标题 ：
柱状射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114588739A
申请号 ：
CN202011430896.9
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨亮石文波李庆伟耿自才李永钊吴克难赵天亮周冬建回晓康金玉奇
申请人 ：
中国科学院大连化学物理研究所
申请人地址 ：
辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号
代理机构 ：
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 ：
许宗富
优先权 ：
CN202011430896.9
主分类号 ：
B01D53/02
IPC分类号 ：
B01D53/02 H05H1/24
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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