一种低温容性和感性复合耦合射频等离子体反应器
授权
摘要
本实用新型涉及一种低温容性和感性复合耦合射频等离子体反应器，包括反应腔室，反应腔室上设有进气端和出气端；进气端与用于通入反应气体的第二支管连通；反应腔室还与用于通入惰性气体的第一支管连通；出气端设置有抽气装置；反应腔室上相对靠近进气端的外壁上缠绕有线圈，线圈与射频电源A相连接，射频电源A与线圈之间还连接有用于调节阻抗的匹配器A，反应腔室内相对靠近进气端处设有金属电极，金属电极与射频电源B相连接，射频电源B与金属电极之间连接有用于调节阻抗的匹配器B；反应腔室内还设置有用于放置待改性样品的样品台，样品台通过位置调节机构在反应腔室内往复移动；样品台导电。本装置结构简单，制作价格低廉，操作方便。
基本信息
专利标题 ：
一种低温容性和感性复合耦合射频等离子体反应器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920818203.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-31
授权号 ：
CN210469842U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
高松华高立华
申请人 ：
三明学院
申请人地址 ：
福建省三明市三元区荆东路25号
代理机构 ：
厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨玉芳
优先权 ：
CN201920818203.X
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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