射频电感耦合等离子体发生天线

专利权的终止

摘要

本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体为一种射频电感耦合等离子体发生天线。本天线采用三维螺旋线型结构设计，在顶部电感耦合情况下，射频天线内外线圈和耦合介质板的距离是变化的。根据装置特点有两种变化方式：其一为由内向外天线和介质板的距离依次递减；其二为由内向外天线和介质板的距离依次递增，并根据装置实际情况调整至适当值。该天线可以多个组合起来使用进一步提升效果。该新型射频电感耦合等离子体发生天线在顶部电感耦合情况下可以提高等离子体的径向均匀性。本天线设计简单、成本适中，具有传统射频天线不具有的优势，可以应用于微电子制造、仪器制造等工业领域。

基本信息

专利标题：

射频电感耦合等离子体发生天线

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720074856.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-09-20

授权号：

CN201114977Y

授权日：

2008-09-10

发明人：

徐旭李林森刘峰梁荣庆

申请人：

复旦大学

申请人地址：

200433上海市邯郸路220号

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司

代理人：

陆飞

优先权：

CN200720074856.9

主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

H05H1/46 H01L21/02