电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别涉及一种电感耦合等离子体装置(ICP)以及用于该装置中的电感耦合线圈。该装置包括反应室(10)、工作台(11)、电感耦合线圈、电感射频匹配器(12)以及电感射频电源(13)，其特征在于：电感耦合线圈设在反应室(10)内，且位于工作台(11)上方；电感耦合线圈由两组相同的平面栅形线圈(1)并联且对称布置构成，其中，每组平面栅形线圈(1)由一根铜管(2)在平面上按“U”形波浪路径折制成栅形结构，铜管(2)内设有陶瓷绝缘内套管(5)，陶瓷绝缘内套管(5)的内腔作为冷却水通道，铜管(2)外设有陶瓷绝缘外套管(6)。本实用新型磁场分布均匀性好、效率高、对基片表面损伤更小，适合于大面积薄膜沉积、刻蚀以及表面处理等半导体加工工艺。
基本信息
专利标题 ：
电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820042079.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-08-07
授权号 ：
CN201311804Y
授权日 ：
2009-09-16
发明人 ：
刘宏刘晓晗袁洁静
申请人 ：
苏州汉申微电子有限公司
申请人地址 ：
215011江苏省苏州市高新区玉山路1号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
马明渡
优先权 ：
CN200820042079.4
主分类号 ：
H01F5/00
IPC分类号 ：
H01F5/00 H01F38/14 H05H1/46 H05H1/50 H01L21/3065
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01F
磁体；电感；变压器；磁性材料的选择
H01F5/00
线圈
法律状态
2011-10-12 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101120112020
IPC(主分类) : H01F 5/00
专利号 : ZL2008200420794
申请日 : 20080807
授权公告日 : 20090916
终止日期 : 20100807
号牌文件序号 : 101120112020
IPC(主分类) : H01F 5/00
专利号 : ZL2008200420794
申请日 : 20080807
授权公告日 : 20090916
终止日期 : 20100807
2009-09-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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