电感耦合等离子体装置及半导体薄膜设备
授权
摘要
本发明公开了一种电感耦合等离子体装置及半导体薄膜设备，该电感耦合等离子体装置包括：等离子体装置本体和隔离盖板，隔离盖板盖设于等离子体装置本体上；隔离盖板包括：隔离盖板本体；凸起结构，设置于隔离盖板本体朝向电感耦合等离子体装置腔室内的内侧面上；凸起结构与隔离盖板本体同轴设置，以使得隔离盖板中心的厚度大于隔离盖板边缘的厚度。本发明通过在电感耦合等离子体装置的隔离盖板朝向腔室内侧的一面增加凸起结构，在不改变电感耦合等离子体装置的天线等装置的情况下，改变电感耦合等离子体装置腔室内的电场强度分布，进而通过磁场强度分布的调整来使得腔室内的等离子体径向分布的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
电感耦合等离子体装置及半导体薄膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114023622A
申请号 ：
CN202210002453.2
公开（公告）日 ：
2022-02-08
申请日 ：
2022-01-05
授权号 ：
CN114023622B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
余先炜田才忠林保璋
申请人 ：
盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
代理机构 ：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
徐民
优先权 ：
CN202210002453.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2022-02-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20220105
申请日 : 20220105
2022-02-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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