电感耦合线圈

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本发明涉及微电子技术领域。本发明电感耦合线圈，包括多匝数螺旋线圈，其中所述多匝数螺旋线圈至少为两个，且相互并联连接在一起组成一个三维线圈。本发明的电感耦合线圈的优点和积极效果在于：本发明中，由于具有多个多匝数螺旋线圈，且相互并联连接在一起组成一个三维线圈。而三维线圈在各个空间方向上产生的磁场强度比平面结构更加均匀，因此可以激发更加均匀的等离子体，同时也减小了对气体压力的依赖，在较大的气体压力范围内都能表现出优越的性能。

基本信息

专利标题：

电感耦合线圈

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1848313A

申请号：

CN200510126298.1

公开（公告）日：

2006-10-18

申请日：

2005-12-05

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

蒲春

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

向华

优先权：

CN200510126298.1

主分类号：

H01F5/00

IPC分类号：

H01F5/00 H01F38/14 H01L21/00