本发明涉及微电子技术领域。本发明电感耦合源包括电感耦合线圈，其中电感耦合线圈是渐开线状多匝数立体线圈。电感耦合线圈为对称嵌套布置的若干对，分为串联在一起的内组线圈和外组线圈。本发明的电感耦合源的优点和积极效果在于：本发明中，完全对称的立体线圈结构的设计使得电磁场在反应腔室内部的分布很对称，从而改善了等离子体在反应腔室内部的分布均匀性，使得在晶片表面上各点的刻蚀速率更加接近。既使随着晶片尺寸的增大，本发明的技术方案也能很好的控制从晶片中央到边缘的刻蚀速率和均匀性。