一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器
授权
摘要
本实用新型提供了一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器，所述发生器包括壳体，所述壳体上设置观火窗，所述观火器设置在壳体的外部，所述观火器包括水冷机构、图像采集装置，所述图像采集装置的图像采集端正对观火窗，所述水冷机构对图像采集装置进行水冷降温；本实用新型所述的一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器，一方面实现了对射频等离子体发生器中放电情况进行观察、监控，另一方面避免了高温、高辐射环境对人体或设备带来的损伤，有利于确保生产过程的安全性，同时也有利于提高对放电情况进行监控时的工作效率以及监测准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021579717.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-03
授权号 ：
CN212851155U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
孙伟民王庆文刘冬樊荣李家鑫李鹏博
申请人 ：
河南能微新材料科技股份有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新丰华路6号银昆科技园1#楼四层402-11
代理机构 ：
北京市中联创和知识产权代理有限公司
代理人 ：
李美宝
优先权 ：
CN202021579717.3
主分类号 ：
H05H1/24
IPC分类号 ：
H05H1/24
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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