一种高效射频等离子体源发生装置

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摘要

本实用新型提供了一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：包括能量耦合器、等离子产生器、进气结构、离子束调节器、离子束扩散区、束流聚焦区和真空腔体；所述等离子产生器连接所述能量耦合器；所述进气结构连接所述等离子产生器；所述等离子产生器连接所述离子束调节器；所述离子束调节器连接所述离子束扩散区；所述束流聚焦区连接所述离子束扩散区；所述真空腔体连接所述束流聚焦区。本实用新型的有益效果是：成本低廉，使用寿命高，结构简单且高效。

基本信息

专利标题：

一种高效射频等离子体源发生装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922399997.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-27

授权号：

CN211630479U

授权日：

2020-10-02

发明人：

谢斌平鹿建王艳会赵子淳叶雨城

申请人：

费勉仪器科技（上海）有限公司

申请人地址：

上海市宝山区顾村工业园区富联二路189号4幢

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司

代理人：

姜杉

优先权：

CN201922399997.3

主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

H05H1/46