T型射频等离子体发射装置
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型公开了一种T型射频等离子体发射装置，目前，广泛使用的射频等离子体发射装置均为筒型设计，其缺点是仅能产生一种等离子。本实用新型的目的是提供一种可以产生两种等离子体，且二者可以发生相互作用。本产品的组成包括：两端带对接法兰(3)的主真空室(1)，所述对接法兰(3)上观察窗(4)，在所述主真空室(1)上横向设有副真空室(2)，所述主真空室(1)和所述副真空室(2)上设有接线柱(5)，所述副真空室(2)两端设有对接法兰(3)，其上有观察窗(4)。本产品用于等离子实验仪器上。
基本信息
专利标题 ：
T型射频等离子体发射装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620022134.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-12-05
授权号 ：
CN200976340Y
授权日 ：
2007-11-14
发明人 ：
宋国利杜凯田云才
申请人 ：
宋国利
申请人地址 ：
150086黑龙江省哈尔滨市南岗区学府四道街9号哈尔滨学院理工学院
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200620022134.4
主分类号 ：
H01J37/00
IPC分类号 ：
H01J37/00 H05H1/00 B01L11/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
法律状态
2010-01-27 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-11-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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